化学气相法按加热方式又可分为热化学气相沉积法、激光诱导法、等离子体法、紫外线法、湿化学法等，通过液成为纳米粒子，薄膜表面功能化的制作，不用苛刻物理条件，产物组分可控制。湿化学法又可分为溶胶一凝胶法、喷雾热解法、沉淀法和水热法。由于PMMA纳米复合材料具有一系列的优异特性，薄膜表面功能化涂层工艺，系统地研究纳米粒子对PMMA的改性作用，发展纳米材料和纳米结构的新型产品具有非常重要意义。
表面改性是一种在保持材料或制品原有性能的前提下，赋予新的表面性质（亲水性、生物相容性、抗静电性能、染色性能等）和多功能的复合材料制备技术。当材料表面与组织、抗原/蛋白、长/寡聚核苷酸、细胞等接触时，材料表面的性质在很大程度上影响了材料的生物学表现。因此，我们需要改变材料表面的特性，特别是针对材料表面的功能化修饰改性，薄膜表面功能化，使其具有特定的生物学性能。因此材料表面改性尤其是表面功能化修饰改性受到广泛关注。
物理修饰法采用高能物质作用于PDMS表面，以改变PDMS表面化学的组成性质、或是在PDMS材料表面沉积一-层新材料。主要方法包括等离子体处理、紫外光(UV)照处理、紫外光照加臭氧(UVO)处理、及激光处理等。采用这些方法进行PDMS表面处理，操作简单，能在PDMS表面生成羟基等亲水性基团而使其亲水性、电渗流特性得到明显的改善。
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