随着惯性系统低成本化的发展，在20世纪60年代中期开始出现新型的非液浮的所谓干式加速度计。石英挠性加速度计用于载体的微重力测量系统和高精度惯导系统中，航天加速度传感器，并可用于高精度的静态角度测量系统中。由于这种仪表采用挠性支承技术，三轴加速度传感器，所以称为石英挠性加速度计，且其结构与工艺大大简化。石英挠性加速度传感器为单轴力矩反馈式加速度计。石英挠性加速度计结构轭铁由温度系数低，导磁性能好的软磁材料组成。挠性的材料为温度性能的石英玻璃，外形采用超声加工而成，挠性元件的加工一般采用化学腐蚀方法；也可以采用反应离子蚀刻工艺加工整个挠性，加速度传感器，但造价很高。加速度传感器产品广泛用于航空航天高精度导航系统等。片
加速度计是惯性导航系统的元件之一，它敏感载体的加速度信息输出与载体加速度成比例的信号。石英挠性加速度计是测量线加速度的高精度传感器，在惯性导航系统中具有重要的作用。加速度传感器的工作原理是惯性质量受到外界加速度时，相对位置发生轻微偏移，引起差动电容极板距离的变化导致差动电容量的变化。 伺服放大器检测到这一变化并输出相应的电流，送至位于磁场内部的线圈上，产生与输入加速度力矩相平衡的反馈力矩，惯性质量再次回到平衡位置。
石英挠性加速度计是测量线加速度的高精度传感器，在惯性导航系统中具有重要的作用。石英挠性加速度计的高精度信号处理是基于力矩平衡原理、采用伺服回路实现，伺服回路的性能是制约石英挠性加速度计性能提高的关键因素之一。 现有技术方案中，混合集成式模拟伺服回路因集成电路工艺问题，精度较低;分立元件式伺服回路集成度低，传输电容信号、极易受寄生电容影响，实用性较低。加速度传感器工作原理介绍加速度是一种用来反映物体在运动过程中的速度变化状态的物理量，其无法直接测量，当前的加速度传感器（加速度计）采用间接测量以及力的平衡等技术来获取物体的加速度。加速度传感器的工作原理基于牛顿第二运动定律:作用于物体上的力等于该物体的质量乘以加速度。
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