净化工程复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。
洁净隧道(Clean
Tunnel)：以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域百1分百覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，洁净室净化工程，以避免机器维修时影响工作及品质。ULSI制程大都采用此种型式。
洁净隧道另有二项优点：
A.弹性扩充容易;
B.维修设备时可在维修区轻易执行。
无尘室温湿度控制方法：
1、无尘室温湿度维护管理。
①无尘室适当之正压保持（>0.5mmAq），做好施工工程之不漏气，人员设备、原材料搬入无尘室前先做好清洁擦拭等防尘动作，空气过滤器适当的管理和设置。
②隔间板、地板等无尘室材料的适当选用、制程设备的发尘抑制、生产自动化及人员不聚集、动作放松、洁净衣的管理、使用无尘室器等。
2、室内发尘不积留。
墙壁体应光滑无死角、无尘室需定期保养和清扫、制程设备四周应留有空间。
3、发生尘埃排除。
换气次数应足够，适当的空间布置以及污染源接排气和空调的气流速度须适当。
无尘室标准温湿度是多少?
这个标准要根据你的无尘室用途和生产的产品来决定，比如电子类产品有些胶到24摄氏度就会明显地液化，没法用了，那使用这种胶的无尘室温度范围肯定要低，净化工程公司，湿度也是类似的。
也就是说，净化，决定温湿度标准的是你的产品、工艺要求，而不是无尘室本身。无尘室要根据你的用途需求来进行设计，满足你的温湿度要求。没有完全统一的无尘室温湿度标准。
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