用于过滤器性能实验台上面，这种试验台在试验前都要对系统严格净化，因此试验系统和为试验系统服务的污染注入系统都需配有过滤器，这中过滤器和被试验的过滤器是两回事儿，它的精度要求，污物容纳量要求要比被试验的过滤器精度高，为区别同一试验系统中的两类过滤器，这种过滤器称为试验台过滤器，被试验的过滤器称为被试过滤器。
测试原理：※ 为什么扩散流的方法更好：起泡点值只是一个定性的值，从开始起泡到之后的群起泡是一个比较长的过程，不能准确的定量。而测量扩散流值是一个定量值，精密过滤器供应，不但能准确的确定过滤器的完整性，而且还能反应出膜的孔隙率、流量和有效过滤面积等方面的问题，这也就是为什么国外厂家都用扩散流法测试完整性的原因。※ 水侵入法测试原理：水侵入法专i用于疏水性滤芯的测试，疏水性膜抗拒水，孔径越小，把水挤入疏水膜中需要的压力越大。所以在一定的压力下，测量挤入滤膜中的水流量来判断滤芯的孔径。
在国外项目中和国内新项目中，F8过滤器是非均匀流洁净室尤为常见的预过滤器。对于芯片厂100级，10级或更高等级别的洁净厂房，预过滤器的常见的效率级别为H10，许多新项目索性选用HEPA。在国内过去的洁净室空调系统设计中，过滤器常见配置为：粗效中效高有效。那时高有效过滤器的使用寿命仅为1--3年，尤其差的也就几个月。可见，预过滤器的效率的高低决定末端过滤器使用的寿命。
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