洁净室检测应控制人员散发的污染
人员的鼻腔、口腔、皮肤、头发和身上的服装都散发污染物。
根据试验，人员身着一般工作服行走时，每分钟所散发的≥0.l u m的颗粒数可高达1.9×lpcs/人·min。
控制人员散发的污染，洁净工作台检测设备，首先是控制进入洁净室的人员数量。
生产、科研无直接关系，洁净工作台检测标准，未经洁净室工作人员守则培训的人员，一律不得进入洁净室。
进入的人员要遵守洁净室工作守则，整齐穿着洁净室工作服，戴工作手套、口罩、发帽，洁净工作台检测，穿洁净靴，经洁净通道进入。
洁净室各类检测
1．温湿度检验:①使用温湿度计测试时，距地板高度约1.2M，用温湿度计于测试，约每9M2测定一点，每点之测定时间约5秒;②如使用温湿度记录器测试时﹐需于选定之测试点做24小时之连续测试。
2．噪音检验:距地板约1.2M，用噪音计于测测试，测数以每9M为一点，每点测定时间5秒。
3．不管气流为层流．乱流或混合式流，于工程完成后之状（ASBUILT)各项目大部分均须列入检验，洁净工作台检测服务，但在作业状态则有所选择。
洁净室检测结果评定
1.每个采样点的平均粒子浓度小于或等于规定的级别界限，即A≤级别界限，则判符合规定。
（采样点>9个)
2.全部采样点的粒子浓度平均值均值的95%的置信上限小于或等于规定的级别界限，即UCL≤级别界限，则判符合规定。
（采样点≤9个)
3.凡是1、2规定不相符合，则判不符合规定。
100级小采样量≥0.5um: 5.66L/次。
其余洁净级别，≥0.5um:2.83L/次，≥5um:2.83L/次
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