高压电源是设备的关键技术之一，它主要为电子提供加速电压，其性能好坏直接决定电子束焊接工艺和焊接质量。
电子束焊机用高压电源与其它类型的高压电源相比，具有不同的技术特性，技术要求主要为纹波系数和稳定度，纹波系数要求小于1%，稳定度为±1%，甚至纹波系数小于0.5%，稳定度为±0.5%，直流电源厂家直售，同时重复性要求小于0.5%。
以上要求均根据电子束斑和焊接工艺所决定。
电子束焊机用高压电源的操作是必须与有关系统进行连锁保护，主要有真空连锁、阴极连锁、闸阀连锁、聚焦连锁等，以确保设备和人身安全。
高压电源必须符合EMC标准，具有软起动功能，防止突然合闸对电源的冲击。
日常维护：
灰尘带入机内沉积、当遇空气潮湿时会引起主机控制紊乱造成主机工作失常，并发生不准确告警，大量灰尘也会造成器件散热不好。
一般每季度应清洁一次。
其次就是在除尘时，检查各连接件和插接件有无松动和接触不牢的情况。
虽说储能电池组目前都采用了免维护电池，但这只是免除了以往的测比、配比、定时添加蒸馏水的工作。
但外因工作状态对电池的影响并没有改变，不正常工作状态对电池造成的影响没有变，这部分的维护检修工作仍是非常重要的，UPS电源系统的大量维修检修工作主要在电池部分。
完善的保护措施：新型电源IC 有完善的保护措施，这包括：输出过流限制、过热保护、短路保护及电池极性接反保护，使电源工作，不易损坏。
耗电小及关闭电源功能：新型电源IC 的静态电流都较小，一般为几十μA 到几百μA。
个别微功耗的线性稳压器其静态电流仅1.1μA。
另外，不少电源IC 有关闭电源控制端功能（用电平来控制），在关闭电源状态时IC 自身耗电在1μA 左右。
由于它可使一部分电路不工作，可大大节省电能。
例如，在无线通信设备上，在发送状态时可关闭接收电路；在未接收到信号时可关闭显示电路等。
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