热式流量计传感器包含两个传感元件，一个速度传感器和一个温度传感器。它们自动地补偿和校正气体温度变化。仪表的电加热部分将速度传感器加热到高于工况温度的某一个定值，使速度传感器和测量工况温度的传感器之间形成恒定温差。当保持温差不变时，电加热消耗的能量，也可以说热消散值，与流过气体的质量流量成正比。
热式气体质量流量计即Mass Flow Meter（缩写为MFM），它是气体流量计量中新型仪表，TGK100质量流量计，区别于其它气体流量计不需要进行压力和温度修正，直接测量气体的质量流量，一支传感器可以做到量程从极低到高量程。它适合单一气体和固定比例多组份气体的测量。
超声波流量计特点：
(1) 超声波流量计的温度测量范围不高，一般只能测量温度低于200℃的流体
(2) 抗干扰能力差。易受气泡、结垢、泵及其它声源混入的超声杂音干扰、影响测量精度。
(3) 直管段要求严格，武汉质量流量计，为前20D，热式质量流量计，后5D。否则离散性差，测量精度低。
(4) 安装的不确定性，会给流量测量带来较大误差。
(5) 测量管道因结垢，会严重影响测量准确度，带来显著的测量误差，甚至在严重时仪表无流量显示。
(6) 可靠性、精度等级不高(一般为1.5～2.5级左右)，重复性差。
(7) 使用寿命短(一般精度只能保证一年)。
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