安徽XRD掠入射(GIXRD)检测 半导体XRD薄膜测试

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XRD掠入射(GIXRD)检测半导体XRD检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究,兼顾重大技术应用的基础研究,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,以及行业应用技术开发。


结晶度的计算实际上就是一种特殊的定量分析,其原理出自一个。知道怎么做定量,当然也会做结晶度的计算。

如果你还想知道得更多,比如无标样定量分析方法等等,可以参考李树棠老师的书,一本很老的书,我们当时的教材,叫做《金属X射线衍射与电子显微分析技术 1》在晶体之星可以到。后来,这本书叫做《晶体X射线衍射学基础》,冶金工业出版社出版,好象网上还没有电子版。也许书店有得卖。另外有一本叫做《X射线衍射技术及设备》,冶金工业出版社出版。丘利,胡玉和编著。你如果有这本书, X射线衍射方面的事情都可以先问它。如果你想通过全谱拟合的方法来计算定量,安徽XRD掠入射(GIXRD)检测,你得有一台好衍射仪。很多人都是用同步辐射光源来做。也有人用中子衍射来做。理学电机的18KW衍射仪也能做,因为它的功率大。不过,在衍射仪上做一个这样的测量需要几小时或者十几小时。




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(1)样品中的每一个物相都是晶体相(不含有非晶)

(2)样品中的每一个物相的K值都是已知的

(3)通过一个计算公式,一次图谱扫描,XRD掠入射(GIXRD)检测费用多少,就能计算出样品中的每个物相的含量。这个公式就是: Wx=Ix/[Kx(I1/K1 I2/K2 ……In/Kn)]。这里假定一个样品中存在n个相,其中任一相x的含量Wx与X相的衍射强度成正比(分子),与它的K值成反比。分母还有另一个组成部分,就是所有相的衍射强度除以自己的K值。不知道你看懂了没有, 从这个公式你看出什么来了?要计算一个物相的含量(质量分数)。



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可以看到激光退火制程后的半导体集成电路晶圆的X射线衍射成像。 激光退火后,XRD掠入射(GIXRD)检测机构,自动化图形分析软件将衍射成像图中的缺陷制动识别出来,XRD掠入射(GIXRD)检测价格,并将符合滑移线特征的缺陷用绿色标识出来。 然后可以按照KLARF格式将各缺陷的坐标位置、尺寸、灰度等特征参数报告输出,并且提供给生产监控使用。 生产监控实例也发现,一旦衍射成像结果中滑移线的数量开始增加,晶圆的几率大幅增加

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发布时间
2023-04-01 06:45
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