随着惯性系统低成本化的发展，三轴加速度传感器应用，在20世纪60年代中期开始出现新型的非液浮的所谓干式加速度计。由于这种仪表采用挠性支承技术，所以称为石英挠性加速度计，且其结构与工艺大大简化。目前这种石英挠性加速度计已广泛应用于各类现代惯性系统中。三轴加速度传感器应用属于单轴重力加速度计，其特点是结构简单，体积小，精度和灵敏度高、可靠性高等。三轴加速度传感器应用的工作原理是惯性质量受到外界加速度时，相对位置发生轻微偏移，引起差动电容极板距离的变化导致差动电容量的变化。
由于石英挠性加速度计具有体积小、精度高、工 作温度范围宽、温漂小等优点，三轴加速度传感器应用而被广泛的应用这些领域的工作环境恶劣，尤其在温度方面表现尤为突出，而石英挠性加速度计也存在温漂。石英挠性加速度计温控仪是加速度计生产调试过程中的关键设备，作用是为加速度计温度系数的测试提供环境条件。为模拟加速度计的实际工作条件55±3℃，生产过程中必须在55±0.5℃范围内进行输出信号的测试。石英挠性加速度计生产与应用发展迅速，因此其相应的温度控制设备也非常重要。
三轴加速度传感器应用是用挠性支撑技术性因此 称之为石英挠性加速度感应器，且其构造与加工工艺与之野夫式的結果极大地简单化了。现阶段这类石英挠性加速度感应器已广泛运用于各种当代惯性力管理体系中。石英挠性加速度感测器的原理其是由轭铁由温度系数低导带磁能好的铁磁性材料构成。磁瓦采用导带磁能较为优良的永磁铁氧体，用磨床加工。挠的原材料为溫度特性很好的石英夹层玻璃，外观设计采用超声波生产加工而成，挠性元器件的生产加工一般采用化学腐蚀方式；还可以采用反映正离子蚀刻生产加工全部挠，但工程造价很高。加速度造成的差动保护电容器变化量由伺服电机电源电路中差动保护电容器探测器检验，为其输出为电流，经电流积分器变为输出工作电压，随后跨导赔偿放大仪把工作电压变为输出电流，此输出电流的尺寸与键入加速度正相关。英挠性加速度感应器为双轴扭矩意见反馈式加速度计，根据检验品质来检验外部的加速度数据信号，再经伺服电机电源电路调制解调、变大，终输出电流数据信号正比例于加速度数据信号。 
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