辽宁省做化工设备的厂家，辽宁省做石化设备的厂家，辽宁做非标设备的企业光刻工艺是掩膜板上的图形在感光材料光刻胶上成像的过程。流程一般分为气相成底膜、旋转涂胶、软烘、对准和曝光、曝光后烘焙、显影、坚膜烘焙等。曝光设备一般又可依波长之不同分为365nm的I-line、248nm的KrF深紫外线曝光设备，辽宁省做化工设备的厂家，辽宁省做石化设备的厂家，辽宁做非标设备的企业以及193nm的ArF深紫外线曝光设备和浸润式曝光设备。工艺相关设备需放置在黄光的区域。该区域需要有独立的回风，对洁净度亦有较高的需求，并装置去离子器，对温度、湿度、抗微振性能有*高的要求。
9 化学机械研磨工艺。
化学机械研磨工艺是把芯片放在旋转的研磨垫上，施加一定的压力，用化学研磨液进行研磨的平坦化过程，辽宁省做化工设备的厂家，辽宁省做石化设备的厂家，辽宁做非标设备的企业以完成多层布线所需的平坦度要求。通常应用在8英寸及以上的芯片加工工艺中。
10 检测。
透过微分析技术对材料以及工艺品质做鉴定和改善，可概分为在线检测及离线检测。
11 硅片验收测试。
硅片验收测试是在工艺流程结束后对芯片做电性测量，辽宁省做化工设备的厂家，辽宁省做石化设备的厂家，辽宁做非标设备的企业用来检验各段工艺流程是否符合标准。
12 中测。
中测的目的是将硅片中不良的芯片挑选出来，通常包含电压、电流、时序和功能的验证，所用到的设备有测试机、探针卡、探针台以及测试机与探针卡之间的接口等。
3.3.3 在芯片制造过程中，为了降低生产工序中发生的成本，必须设计出*合理的设备布局来缩短搬运的距离和时间，辽宁省做化工设备的厂家，辽宁省做石化设备的厂家，辽宁做非标设备的企业提高设备的利用率。一般会根据由工艺技术确定工艺流程。
通过对工艺流程的步骤分析，计算芯片在生产过程中传送各功能区域的频次，辽宁省做化工设备的厂家，辽宁省做石化设备的厂家，辽宁做非标设备的企业如图1范例工艺流程与芯片传送频次参数。