氦质谱检漏仪的真空系统
氦质谱检漏仪的真空系统提供质谱室正常工作所需要的真空条件，不同型号的氦质谱检漏仪其真空系统有较大的差别。
1、检漏阀：接在质谱室和被检件之间的管道上。有些氦质谱检漏仪采用节流阀，正压氦气质谱检漏仪厂家，控制流入质谱室的气体流量。
2、真空规：一般采用冷阴极磁控放电直空规(潘宁规，又称冷规)来测量质谱室中的压力。也有用电阻规或热偶规测量被检件的预抽压力和系统的前级压力的。
3、标准漏孔：一般氦质谱检漏仪内都附有标准漏孔(大多为薄膜渗氦型)，用它来校准氦质谱检漏仪的Z小可检漏率和对氦质谱检漏仪输出指示进行定标。
真空法氦质谱检漏的优缺点
真空法的检测标准主要有QJ3123-2000《氦质谱真空检漏方法》、GB /T 15823-2009《氦泄漏检验》，主要应用于真空密封性能要求，正压氦气质谱检漏仪厂家，但不带压工作的产品，氦气质谱检漏仪厂家，如空间活动部件、液氢槽车、环境模拟设备等。
真空法的优点是检测灵敏度高，可以准确定位，正压氦气质谱检漏仪厂家，能实现大容器或复杂结构产品的检漏。
真空法的缺点是只能实现一个大气压差的漏率检测，不能准确反映带压被检产品的真实泄漏状态。
氦质谱检漏仪的工作原理
今天华诚浩达的小编和大家分享的是氦质谱检漏仪的工作原理，希望对您有所帮助！
氦质谱检漏仪是一种以氦气作为示漏气体专门用于检漏的质谱分析仪器。其基本工作原理是采集被检件中的气体样品并将其电离，根据不同种类气体离子质荷比不同的特点，利用磁偏转分离原理将其区分开来。仪器对其示漏气体氦气有响应信号，而对其他气体没有响应，从而检漏。
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