XRD摇摆曲线检测XRD残余应力检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。
如何看懂XRD图谱
XRD图谱峰的面积表示晶体含量，面积越大，晶相含量越高。峰窄说明晶粒大，可以用谢乐公式算晶粒尺寸。XRD图谱峰高如果是相对背地强度高，表示晶相含量高，跟面积表示晶相含量一致。
XRD图谱峰高如果是A峰相对B峰高很多，两峰的高度比“A/C”相对标准粉末衍射图对应峰的高度比要大很多，那么这个材料是A方向择优取向的热重曲线热重分析得到的是程序控制温度下物质质量与温度关系的曲线。
即热重曲线(TG）曲线，横坐标为温度或时间，纵坐标为质量，也可用失重百分数等其它形式表示。由于试样质量变化的实际过程不是在某一温度下同时发生并瞬间完成的，因此热重曲线的形状不呈直角台阶状，而是形成带有过渡和倾斜区段的曲线。
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X射线衍射分析( X-raydiffraction ，简称XRD )，XRD摇摆曲线检测平台，是利用晶体形成的X射线衍射 ，对物质进行内部原子在空间分布状况的结构分析方法。
仪器技术参数
小角衍小角可以达到0.4度，主要测介孔材料和其他高分子复合材料。广角衍射:低角度可以达到5度，可以接收到小于10度的衍射峰。
(1 )测量精度:角度重现性 0.0001° ;测角仪半径≥200mm ，测角圆直径可连续变
(2)小步长0.0001°;角度范围(20):-110~168°;温度范围:室温~900°C;
(3)大输出: 3KW ;稳定性: 0.01% ;管电压: 20~ 60kV(1kV/1step) ;管电流: 10~ 60mA。
送样要求
固体粉末:均均干燥，粒度小于70um (过200目) ， 质不少于100mg ;块体、金属及薄膜样品:需加工出一平整的表面，尺寸约为20mmx 10mmx 2mm
应用领域
物相分析，可以对物质的组成及物相进行表征分析.定性、定量分析，通过精修可对物质的各组分进行的定量分析。
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小角X射线衍射在纳米多层膜材料中，两薄膜层材料反复重叠，XRD摇摆曲线检测多少钱，形成调制界面。当X射线入射时，周期良好的调制界面会与平行薄膜表面的晶面一样，在满足Bragg条件时，产生相干衔射，形成明锐的衍射峰。
由于多层膜的调制周期比金属和化合物的晶面间距大得多，所以只有小周期多层膜调制界面产生的XRD衍射峰可以再小角度衍射时观察到，而大周期多层膜调制界面XRD衍射峰则因其衍射角度更小而无法进行观测。
因此，对制备良好的小周期纳米多层膜可以用小角度XRD方法测定其调幅周期。
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