洁净室检测
1．洁净度检验:于距地板高度约1.23~1.25M用微尘粒子计数计测试之，测试完毕，应列印其数值记录。
2．风速及风量检验:于ULPA下方约150M / M处，干燥箱服务，用热线式风速计测定，原则上每只ULPA测定两点，每点之测定时间约5秒;风量则依风速之测试值，以下式之公式计算之。
风量=平均风速×出风之面积（ULPA之面积)。
洁净室检测静电检测
一、测试目的，静电问题不是只有半导体业才有，其它行业也有类似问题。
微小物质上若是含有静电，就会变成非常难处理的问题，因为传输变的很不容易。
另外在无尘室里面，若是物体表面带有静电，就很容易吸引灰尘造成污染。
静电测试的目地是测量空气中正离子与负离子的含量，依此数据可物体在该气流场中之残余表面电压。
二、 测试程序，于无尘室内离地 32 英吋 (813 mm) 处，测量该位置之空气中正离子与负离子的含量，干燥箱，单位是每立方厘米离子数。
测量点数： 10 个，或由业主自己决定。
在同一位置做残余电压测试。
洁净室检测测试时间
1.对单向流，空气净化调节系统正常运行时间不少于10min后开始测试。
2.对非单向流，空气净化调节系统正常运行时间不少于30min后开始测试
3.采样点数目对任何小洁净室或局部空气净化区域，采样点数日不得少于2个，总采样次数不得少于5次。
每个采样点的采样次数不得少于1次，且不同采样点的采样次数可以不同。
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