锂电XRD检测XRD残余应力检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。
实际应用
●实验准备
?样品做必要的清洗
?去加工应力
?确定衍射晶面。扫描样品在2θ=100-140°范围内的谱图，锂电XRD检测费用多少，确定衍射晶面（峰背比较高，峰较窄，谱线平滑、衍射角高)
●实验设备
?同倾法：常规衍射仪，θ和2θ可单独转动即可。
?侧倾法：多功能样品台，样品可做Ψ侧倾，好可绕自身法线转动，则可测不同方向的应力。●扫描图谱
?选择Ψ角为0°，15°，25°，35°，45°
?选择侧倾法扫描
?电压40kV，电流40mA，Cu辐射，步进扫描，步长0.02°，计数时间4s
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为了掌握X射线衍射残余应力测定技术，有必要其方法进行归纳。
X射线衍射残余应力测定方法分类
(1) X射线衍射残余应力测定方法可分为sin2ψ法、cosα法。
(2) sin2ψ法按照残余应力计算方法分类，可分为2θ法、d值法、应变法。
(3) sin2ψ法按ψ与2θ的几何关系分类，可分为同倾法、侧倾法。
(4) 按X射线管、计数管扫描方式可分为固定ψ0法，固定ψ法。
(5) 侧倾法又可分为标准的侧倾法、修改的侧倾法、侧倾固定ψ法。
(6) 测定剪切应力τφ采用的正负ψ测定法。
(7) X射线衍射法一般是测方向的应力，也有点的主应力测定法。
(8) 摆动法可分为ψ0摆动法、ψ摆法、德拜环摆动法、φ角摆动法和X/Y往复平移法等。
(9) 从衍射几何分类，有聚焦法、准聚焦法和平行光束法。
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sin2ψ法公式是基于布拉格定律和弹性理论推导出来的，弹性理论所涉及的对象被假定为均匀、连续、各向同性的介质。对于多晶金属材料来说，只有晶粒细小，没有织构，才近似满足这样的假定。
因为，衍射用的X射线对被测材料的穿透能力极低，大多在几微米或十几微米的深度。因此，可以认为垂直于材料表面方向的应力分量均为零。只有在特殊加工(如强力的、大切削量的磨削)的条件下，致使主应力平面偏离试样表面，才可能出现τ13≠0，锂电XRD检测分析，τ23≠0的情况。通常出现±ψ分叉情况，锂电XRD检测报告，拟合曲线往往不具备椭圆属性，广西壮族自治锂电XRD检测，其实质应该是测角仪±ψ机构的系统误差造成的，因此无需过分强调椭圆拟合的必要性。
综上所述，X射线衍射残余应力测定的实际可操作过程就是选择若干ψ角(或若干对±ψ 角)分别测定衍射角2θφψ，然后进行计算。关于如何安排ψ平面和2θ平面的空间几何关系、如何获取衍射曲线、如何进行计算等方面，学者们研究出了许多方法。
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