主要有精密车削、镜面磨削和研磨等。
在精密车床上用通过精细研磨的单晶金刚石车刀举行微量车削，切削厚度仅1微米左右，多轴联动，常用于加工有色金属材料的球面、非球面和平面的反射镜等高精度、外表高度光洁的零件。
二、精密零件加工。
精密零件加工精度以纳米，多轴伺服，甚至后以原子单位(原子晶格距离为0.1～0.2纳米)为目标时，超精密零件切削加工方法已不能适应
五轴机床需要明确是否五轴联动还是仅要求五面加工，多轴，相应选择数控系统功能也不同。
比如针对五面箱体类加工，通常不需要RTCP，选择余地比较大。
同时针对五轴功能可能涉及数控系统供货商在出口许可证、售后服务、等也必须认真考虑。
机械加工厂推出的数控机床，特别是大型、重型数控机床大多数都有全闭环和双驱需求。
在全闭环控制方案中，要在距离编码光栅、普通增量光栅间进行选择，同时数控系统也要支持相应的反馈信号接入。
于切削过程残留面积小，又地排除了切削力、切削热和振动等的不利影响，因此能有效地去除上道工序留下的表面变质层，加工后表面基本上不带有残余拉应力，粗糙度也大大减小，极大地提高了加工表面质量。
高光洁高精度磨削包括精密磨削、超精密磨削和镜面磨削。
高光洁高精度磨削同样要求机床有很高的精度和刚性，磨削过程是用经精细修整的砂轮，使每个磨粒上产生多个等高的微切削刃
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