CCD光刻前烘后烘工艺专用100级无尘烘箱

在CCD（电荷耦合器件）制造过程中，颗粒沾污对CCD的薄膜质量、光刻图形完整性等有很大的影响，降低CCD的成品率。
CCD制造过程中的颗粒来源主要有两个方面：一个制造过程中工艺环境产生的颗粒；另一个是薄膜的淀积、光刻和离子注入等CCD工艺过程中产生的颗粒。
工艺环境的颗粒可来源于墙体、设施、设备、材料和人员，工艺过程的颗粒来源于易产生粉尘的工艺，比如说LPCVD淀积多晶硅和氮化硅及刻蚀工艺等。

本公司生产的COL-系列无尘烘箱，即使在普通环境下使用，能够确保烘箱内部等级达到Class100，为CCD（电荷耦合器件）制造过程中烘烤提供洁净环境，预防颗粒沾污

无尘烘箱特点：

1：全周氩焊，耐高温硅胶破紧，SUS304#不锈钢电热生产器，防机台本身所产生微尘；

2 ：采用进口SUS304#日制800番2mm厚之镜面不锈钢板，并经碱性苏打水清洁，去油污避免烘烤时产生 PARTICLE；

3：采平面水平由后向前送风后经美国进口H.E.P.A Filter 24"×24"×5-7/8"装置往前门

(特殊风道设计)方向送风，过滤效率99.99%，Class 100,排气口：３"φ(附自动启闭风门)

技术参数：

1. 百级无尘烤箱型号:COL-2

2. 无尘烘箱工作尺寸(mm):W600×H600×D500

3. 温度范围：RT＋60℃～300℃

4. 无尘烤箱洁净度：100级；

5. 温度均匀性: ±1.5%

6. 波 动 度：±0.5℃

7. 电    源：380V 50Hz  7.5KW；

8. 箱体材料：外箱采用 SS41# 中碳钢板经磷酸皮膜盐处理后两层防光面涂装烤漆，可防止微尘(PARTICLE),内室材料：采用SUS304＃无磁性镜面不锈钢,保温材料：超细玻璃棉； 

9. 空气循环装置：大容量轴流电机；

10. 加热方式：不锈钢电加热器；

11. 温度测量传感器：Pt100 铂电阻；

12. 控制仪表：进口数显温度控制器，PID调节，控制精度0.1℃；

13. 超温保护仪表：独立于工作室主控制的超温保护系统，保证试验品的安全；

14. 控制系统：主要电器件均采用斯耐德、欧姆龙等进口元气件；

15. 排 气 口：ф50；

16. 隔    板：2层，不锈钢方通，承重约30KG。

无尘烤箱热线：021-37693997，15221744475 传真:021-37832075联系人：蒋鑫,

网站：www.done-e.com.