350度晶圆清洗干燥箱，高温洁净干燥箱

一、高温充氮洁净产品特点：

    1.箱体周身做密闭氩弧焊接， 耐高温硅胶迫紧；

    2.选用优质不锈钢板材，防止产生PARTICLE；

    3.安装氮气控制装置，箱体可以接入氮气使箱内洁净；

    4.SUS304＃不锈钢无尘化电热产生器，防机台本身产生微尘；

    5.120K级高密度硅酸铝纤维填充，箱体内部高达350度外部不超过45度

    6.特殊结构设计，含氧量：＜500PPM

二、主要技术参数

  2.1产品名称：洁净充氮烤箱

  2.2产品型号：PHH-270

 2.3 电源：AC380V 50HZ

 2.4 功率：6.5Kw

 2.4 规格尺寸：工作尺寸（mm）：W600×H900×D500

              外部尺寸（mm）：W980×H1620×D760

  2.5 温度范围：常温+30～350℃

  2.6 含氧量：＜500PPM

  2.7 均匀性能：±2.0%(空箱测试)

  2.8箱体结构：

  机台结构：温控器位于箱体顶部，特殊门设计。

  内壁材质：内胆材料，采用 SUS1.5mm厚度优质不锈钢钢板，周身做密闭氩弧焊接。

  外部材质：外部采用1.2mm厚度冷扎碳钢板，经防锈处理后静电喷塑，耐划伤。

  保温材质：120K级高密度硅酸铝纤维填充，保温层厚度为120mm。
                                  

  2.9 电气系统：

  控温方式：讯号来源，采用 PT100 铂电阻 感应棒±0.5%。

  温控装置：日本富士智能程序温控仪表， LED数字显示及设定、P.I.D自动演算、时间定时。

  温控输出：SSR输出     

  氮气控制装置：氮气流量计，氮气进出口。
　                                                                   　

               2.10 电加热器：采用覆套式电热器 (SHEATHED HEATER)无尘化U型管状（不锈钢SUS304#）电热发生器

 2.11 完善的安全保护措施：漏电断路器/超温保护/开门氮气自动中断保护/马达过载电流保护

             洁净烘烤箱热线：021-37693997  15221841067   传真:021-37832075 QQ:466477634 ,联系人：周高超 ；

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