多晶硅和有机硅生产装置会产生大量氯硅烷尾气，除部分回收外，相当一部分需排放处理，大多是石灰乳喷淋吸收，形成二氧化硅和氯化钙混合液体，经澄清排放，产生无价值的废渣。
如果采用低温水解或高温水解氯硅烷气体，可以分别产出20%以上的盐酸和活性二氧化硅。
二氧化硅通过再加工处理，可以生产白炭黑、硅微粉、硅胶、偏硅酸钠、硅酸铝等无机硅产品。
盐酸出售或生产氯化钙。
通过这种废气处理模式，投资小，没有废水和废渣排放，废气转化成产品，可获得良好经济效益。
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