深圳金属表层EDS测试 不锈铁SEM形貌测试 能谱EDX元素分析类型：
EDX有三种基本工作方式。
一是定点分析，对样品表面选定微区进行扫描分析；
二是线扫描分析，可以对样品表面选定的直线进行元素定性定量分析；
三是面扫描分析，可以获得某种元素质量分布的扫描图像。
能谱EDX元素分析优缺点：
由于EDX通常与SEM或者TEM的一起使用，采用EDX进行元素分析的一大优势就是可视化操作，非常直观；
EDX可以同时测量所有的元素，分析效率高。
能谱所需探针电流小，对待分析试样损伤小；但是能谱仪分辨率较差，峰背比低，谱峰重叠严重。此外，能谱仪工作条件要求严格，需要液氮冷却。由于电子进入的深度的限制，EDX只能用来分析局部表层的元素种类和含量，不适用于定量分析，精度有时较大。
能谱EDX元素分析参数：
EDX可分析表面厚度1~5μm的元素成分，探测灵敏度大约为0.1%（原子摩尔分数，与元素种类有关）。
EDX可探测元素范围大（4Be~92U），对重元素的分析特别有效。
能谱EDX元素分析送样要求：
样品的表面必须处理干净，金属试样表面要清理其表面氧化层及污染物；粉末状样品要注意分散性和粘牢；液体试样可以滴到导电性好的基材上,并做好干燥处理；
