碳化物不均匀度测量 碳化物深度测量 使用扫描电子显微镜与其他设备的组合以实现多种分析功能。
在扫描电子显微镜上安装许多附件,可以实现一机多用,成为了一种快速、直观、综合性分析仪器。
图1
目前扫描电子显微镜的最主要组合分析功能
X射线显微分析系统,也就是能谱仪,EDS
主要用于元素的定性和定量分析,并可分析样品微区的化学成分等信息。
图2
背散射电子衍射系统,也就是结晶学分析系统,主要用于晶体和矿物的研究。
扫描电子显微镜组合分析功能,例如,显微热台和冷台系统,主要用于观察和分析材料在加热和;冷冻过程中微观结构上的变化。
拉伸台系统,主要用于观察和分析材料在受力过程中所发生的微观结构变化。
扫描电子显微镜与其他设备组合而具有的新型分析功能为新材料、新工艺的探索和研究起到重要作用。