3.2.2幅值线性误差：
振动位移（P-P）：0～20μm，≤±10% ＞20μm，≤±5%
振动速度（RMS）： 0～2.0mm/s, ≤±10% ＞2.0mm/s，≤±5%
振动速度（RMS）： 10～500Hz，≤±5%