氮化硅板材是一种陶瓷材料，主要成分为氮化硅（Si3N4）。它是一种静电陶瓷，具有良好的耐热性，可在高温下长时间稳定运行。同时，它还具有极好的机械强度和抗蚀性，在各种恶劣环境中都能保持良好的性能。
作为高温固相扩散的基板材料，可用于生产高压晶体管、功率MOSFET、IGBT等器件。在太阳能电池板的制造过程中，氮化硅板材也常被用作电池片的形成基板，其高热传导性能可有效提高太阳能电池的转换效率。
在LED芯片生长过程中，需要通过外部基板提供支撑，而普通的材料难以满足高温和化学腐蚀的环境要求。氮化硅板材的高温和耐蚀性，使其成为LED芯片生长的理想基板材料。