半导体材料气体检测XP-703DⅢ
检测原理：热线型半导体式
采样方式：自动吸引式
检测对象：H2丨AsH3丨B2H6丨SiH4丨PH3
检测浓度：1.0ppm丨0.5ppm丨0.2ppm丨0.5ppm丨0.3ppm
产品特点
· 小型·轻量
· 可以检查非常微量的气体泄漏
· 适合氢气相关设备的安全防护
· 搭载的泵有自动停止功能
· 搭载[自动气体排气模式]功能
· 保护等级约为IP22（JIS C 0920）※安装皮套时
产品用途
· 半导体工厂/石油化学工厂等
· 在使用半导体材料气体/毒性气体的现场进行泄漏检测
应用行业：半导体制造
产品参数
