全自动晶圆卡塞清洗机性能卓越,价格具有竞争力,采用国际先进本多换能器,优质发生器,具有安全可靠经济的特点,公司承诺为全自动晶圆卡塞清洗机提供一年免费保养,终身维护.完善的售后服务,博得广大客户的青睐。
全自动晶圆卡塞清洗机特征:
1.适合无尘室清洗作业
2.采用过滤循环系统
3. 全自动晶圆卡塞清洗机数字显示温度控制指示器
4.故障报警诊断功能
5. 全自动控制、10英寸彩色触摸屏控制面板
6. 所有槽体、喷淋管道全部SUS304材质
7.加强型不锈钢网带输送(不伤产品)
8. 全自动晶圆卡塞清洗机通过性好,风刀高度可以设计为自动调节
9. 大小托盘可以共用,托盘水平摆放清洗
10. 输送速度2米/分钟(±30%可调节)
11. 全自动晶圆卡塞清洗机网带宽度:400mm,600mm,800mm,1000mm,1200mm可选
12.无需压缩空气,避免二次污染
13. 自动清洗,干燥,避免人工清洗不彻底,返工现象
14.产品完全干燥无水痕
15.可以根据客户要求出入口采用机械手自动上下料
全自动晶圆卡塞清洗机规格与参数:
1. 尺寸:约10880(L)×1800 (W)×2300 (H)(外形尺寸可以根据实际场地要求调整)
2.供电:380V 50HZ 三相五线
3. 全自动晶圆卡塞清洗机总功率:约 60-120KW
4. 重量:约3-6吨
5.纯水用量:约5L/分钟
全自动晶圆卡塞清洗机电控柜说明:
1).独立控制柜,有手动和自动切换功能
2).本系统采用德国“西门子”PLC和触摸屏,能控制显示清洗机各工位运行状态
3).储液槽安装液位控制器,液位高低控制均接入PLC,加热及泵浦按即定程序运行,并设有蜂鸣器、配三色工作指示灯,声光报警装置
4). 全自动晶圆卡塞清洗机上下料处安装紧急停车按钮
5).清洗机操作按钮分布在电控柜外侧,布置在清洗机进口操作工位一侧,控制盘加密码锁定,防止非授权人员修改并设定运行参数
6).考虑到屏柜内设备的散热问题,屏柜设有散热窗口及加装散热风扇
7).设备照明:电器柜内——日光灯,电气柜内维修照明及插座
8). 全自动晶圆卡塞清洗机操作按钮有明显标识.