全自动晶圆退火前清洗机设计的系统，独立系统，占地面积小，非常适合有限的空间。具有4路化学液清洗，兆声清洗，双面PVA刷洗，去离子水冲洗等清洗模块，对晶圆有**的清洗能力。
全自动晶圆退火前清洗机产品特色：
晶圆*大 300mm
PVA双面刷洗
支持4路化学液清洗，包括氨水与SCI液体
全自动晶圆退火前清洗机工作台含驱动组件，用于晶圆低速旋转（50-100 rpm）
化学清洗臂含 4 路化学液
具有去离子水和稀释氨分配的水坑喷嘴
具有去离子水的 BSR（背面冲洗）喷嘴
全自动晶圆退火前清洗机具有带有流通孔的工艺室
标配三种不同化学品供应系统
工艺室外的手动去离子水枪。
化学液可加热，*高可达 60°C（*高85°C ）
外部可更换化学液
全自动晶圆退火前清洗机支持兆声清洗
支持高压等离子水冲洗
全自动晶圆退火前清洗机技术数据：
衬底尺寸: Ø200 mm (Ø8 inch) 或 Ø300 mm (Ø12 inch)
电机转速: *大 3.000 rpm, 步长 1rpm
电机加速: 1 至 999.9 秒，步长 0.1 s
全自动晶圆退火前清洗机工艺腔室: 由 PP 白色制成（可选 PVDF)