射频电源维修RF Generator Comdel CX-3500S
射频电源常见故障及维修:
故障现象1:打开电源,电源指示灯不亮;
故障现象2:电源灯亮了,预热灯不亮;
故障现象3:电源灯亮了,预热灯亮、辉光亮,匹配器功率及反射功率,电源的功率指示和电流指示不正常。(正常的功 率指针指到220,电流指示0.4)
故障现象4:电源灯亮了,预热灯亮,辉光不亮:;
故障现象5:无功率输出;
故障现象6:有功率输出,但是调不大,或是调不到正常值。
故障现象7:无反射功率,或反射功率过大,射频功率源坏
RF MATCH(射频电源匹配)1、ADVANCED ENERGY射频电源匹配2、ASTEX射频电源匹配3、NP(NEW POWER PLASMA)射频电源匹配
4、ASTECH射频电源匹配5、SEREN射频电源匹配6、LAM射频电源匹配7、KYOSAN射频电源匹配8、ENI射频电源匹配9、DAIHEN射频电源匹配10、AMAT射频电源匹配11、TRAZAR射频电源匹配