自动晶圆研磨后清洗机

自动晶圆研磨后清洗机

发布商家
深圳市科圣达超声波自动化设备有限公司
联系人
李金友(先生)
职位
业务经理
电话
86 0755 29537809
手机
13823746941
价格
¥350000.00/台

全自动晶圆研磨后清洗机由多个部分组成,包括清洗池、气体喷枪、旋转台等。首先,晶圆会被放到清洗池中,在池中进行清洗。清洗池中通常会加入一些特殊的化学试剂,这些试剂可以很好地去除晶圆表面的杂质和残留物。同时,清洗池中还会引入一定的气体,这些气体可以增加清洗液的活性,加速清洗过程。为了让清洗液充分地接触晶圆表面,清洗池通常会设有旋转台,将晶圆不停地旋转。

全自动晶圆研磨后清洗机会配备气体喷枪,用于在清洗之前和清洗之后对晶圆进行吹扫。这样可以将晶圆表面粘附的杂质和残留物刮除掉,让清洗液更好地接触晶圆表面。

全自动晶圆研磨后清洗机应用范围:

1、炉前清洗:扩散前清洗。

2、光刻后清洗:除去光刻胶。

3、全自动晶圆研磨后清洗机氧化前自动清洗:氧化前去掉硅片表面所有的沾污物。

4、抛光后自动清洗:除去切、磨、抛的沾污。

5、外延前清洗:除去埋层扩散后的SiO2及表面污物。

6、合金前、表面钝化前清洗:除去铝布线后,表面杂质及光胶残渣。

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7、全自动晶圆研磨后清洗机离子注入后的清洗:除去光刻胶,SiO2层。

8、扩散预淀积后清洗:除去预淀积时的BSG和PSG。

9、CVD后清洗:除去CVD过程中的颗粒。

10、附件及工具的清洗:除去表面所有的沾污物

全自动晶圆研磨后清洗机特点:

台式系统

无损兆声掩模版或晶圆片清洗及旋转甩干

支持12”直径的圆片或9”x9”方片

全自动晶圆研磨后清洗机微处理机自动控制

IR红外灯

选配项:

掩模版或晶圆片夹具

全自动晶圆研磨后清洗机全自动晶圆研磨清洗机PVA软毛刷清洗

化学试剂清洗(CDU)

氮气离子发生器

 


人气
86
发布时间
2023-12-15 16:10
所属行业
超声波清洗设备
编号
40735172
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