水冷机构53包括水冷管531和循环水路，所述水冷管531缠绕于所述处理室11外侧，所述循环水路一端与所述水冷管531连接，另一端与外部水源连接，通过水泵将循环水路的循环水通入水冷管，所述温度控制装置与水泵电连接，配合感温线智能对箱体内部进行冷却。
40.所述电气控制柜4包括泄真空控制器41和充氮控制器42，所述泄真空控制器41与所述抽气机构2电连接，所述泄真空控制器41用于控制箱体1的泄真空作业，所述充氮控制器42与所述加压充气机构3电连接，所述充氮控制器42用于控制箱体1内的充氮作业；本实施例中所述泄真空控制器包括手动泄真空旋钮411和自动泄真空旋钮412，分别实现泄真空的手动操作和自动操作；所述手动泄真空旋钮411和所述自动泄真空旋钮412均与所述真空泵电连接。
台湾油升YEOSHE齿轮泵HGP-05A-F-03-R-X HGP-05A-L-03-R-X HGP-05A-F-03-L-X HGP-05A-L-03-LX
台湾油升YEOSHE齿轮泵HGP-05A-F-05-R-X HGP-05A-L-05-R-X HGP-05A-F-05-L-X HGP-05A-L-05-LX
台湾油升YEOSHE齿轮泵HGP-05A-F-08-R-X HGP-05A-L-08-R-X HGP-05A-F-08-L-X HGP-05A-L-08-LX
台湾油升YEOSHE齿轮泵HGP-05A-F-11-R-X HGP-05A-L-11-R-X HGP-05A-F-11-L-X HGP-05A-L-11-LX
台湾油升YEOSHE叶片泵：
1：VHO-F-08叶片泵、VHO-F-12叶片泵、VHO-F-15叶片泵、VHO-F-20叶片泵
2：VHI-F-30、VHI-F-40、VHI-F-40-A2 、VHI-F-30-A3
3：AHPF-30、AHPF-40、VR15-70、VR20-70、VR30-70、VR40-70
4：VP-15F-A3、VP-15-F/A1、VP-20F-A3、VP-20-F/A2、VP-30F-A3
5：VP-30-F/A3、VP-40F-A3、VP-40-F/A3、NVP-30-F/A2、NVP-40-F/A3
6：VDP-15-70-60、VDP-20-70-60、VDP-SF-12、VDP-SF-20、VDP-SF-30-D
7：VDP-SF-40-D、VDP-SF-30-C、VDP-SF-40-B
8：VPC-FB-20、VPC-FB-30、VPC-FB-40、VPC-30-F-A1、VPC-30-F-A2
9：VPC-30-F-A3、VPC-40-F-A1、VPC-40-F-A2、VPC-40-F-A3、
41.所述箱体1一侧设置有控制面板6，所述控制面板6分别与所述抽气机构2、加压充气机构3和温度控制机构5电连接，分别用于控制各个阶段的作业。
42.所述箱体1顶端设置有三色灯7，所示三色灯7与所述控制面板6电连接，所述三色灯7用于展示装置的工作状态，当三色灯显示红色时，处于工作状态，表示可以不能开启机械式密封门，当显示绿色时，说明装置处于静止状态，可以打开箱门，当显示黄色时，说明装置正处于泄压状态。