LINEAR MOTOR SERVO CONTROLLER检修 axcelis ROTARY检修
射频检修：AE电源维修，seren射频检修，spellman电源维修，glassan电源维修，IMS静电发生器检修，MDX、MDXII、Pinnacle、Diamond系列，电镀电源检修，电镀工艺高压电源检修，离子注入射频检修，RE射频检修，PECVD射频检修，功率大的工业生产电源维修，UPS电源维修等各个行业工业级电源维修，射频设备维护：离子注入，RIE,PECVD,ICP,射频溅射，CVD和PVD等。
射频检修常见问题：
在替换完元器件后,通电前解决其有关元器件进行检测,是否存在短路故障(如整流管、IGBT管、开关电源输出一部分、电力电子器件输出等);
针对设备没有稳定工作和工作时断时续,可查验箱里主要电路的螺丝、接线端子排等是否牢固(在运输过程中有有可能出现)、布线端空气氧化等,老开关电源或使用环境恶劣的开关电源需要注意内部结构是不是积了许多尘土(可以用热风枪吹掉);如箱里积有许多油渍且使用寿命较长,不能修补应报废处理
