长期回收ALTER阿尔特拉逻辑IC

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在2005年,一个制造厂(通常称为半导体工厂,常简称fab,指fabrication facility)建设费用要超过10亿美元,因为大部分操作是自动化的。
制造过程:芯片制作完整过程包括芯片设计、晶片制作、封装制作、测试等几个环节,其中晶片制作过程尤为的复杂。
首先是芯片设计,根据设计的需求,生成的“图样”芯片的原料晶圆,晶圆的成分是硅,硅是由石英沙所精练出来的,晶圆便是硅元素加以纯化(99.999%),接着是将这些纯硅制成硅晶棒,成为制造集成电路的石英半导体的材料,将其切片就是芯片制作具体所需要的晶圆。
晶圆越薄,生产的成本越低,但对工艺就要求的越高。
晶圆涂膜,晶圆涂膜能抵抗氧化以及耐温能力,其材料为光阻的一种。
晶圆光刻显影、蚀刻。
首先是在晶圆(或衬底)表面涂上一层光刻胶并烘干。
烘干后的晶圆被传送到光刻机里面。
光线透过一个掩模把掩模上的图形投影在晶圆表面的光刻胶上,实现曝光,激发光化学反应。
对曝光后的晶圆进行第二次烘烤,即所谓的曝光后烘烤,后烘烤使得光化学反应更充分。
*后,把显影液喷洒到晶圆表面的光刻胶上,对曝光图形显影。
显影后,掩模上的图形就被存留在了光刻胶上。
涂胶、烘烤和显影都是在匀胶显影机中完成的,曝光是在光刻机中完成的。
匀胶显影机和光刻机一般都是联机作业的,晶圆通过机械手在各单元和机器之间传送。
整个曝光显影系统是封闭的,晶圆不直接暴露在周围环境中,以减少环境中有害成分对光刻胶和光化学反应的影响
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发布时间
2023-12-19 06:40
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40881328
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