普发PM P03 940高真空涡轮分子泵

2707-0perating voltage:V DC

24 (±5 %)V DC

Ar的压缩比

>1.1011

Ar的抽速

66 l/s

Ar的zu终转速时的气体流量

0.54 hPa l's |0.41 Torr l/s |0.54 mbar l/s

H2的压缩比

1.4·10°

H2的抽速

48 l/s

H2的zu终转速时的气体流量

15.3 hPa Us |11.47 Torr l's |15.3 mbar l/s

He 的压缩比

1.3.107

He 的抽速

58 Vs

He 的zui终转速时的气体流量

2.7 hPa l's |2.02 Torr Us |2.7 mbar Vs

VO 接口

RS-485.远程

N2 的压缩比

>1.1011

N2 的抽速

67 Vs

N2 的zui大预真空

22 百帕

N2的zui终转速时的气体流量

1.3 hPa Vs |0.97 Torr ls 1.3 mbar Vs

不带气镇的zui终压力