TMC 隔振平台系统 STACIS III

TMC 隔振平台系统 STACIS III

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STACISseline; margin: 0px; padding: 0px; position: relative; top: -0.5em; color: rgb(20, 20, 20); background-color: rgb(255, 255, 255);">® III是一种灵活的主动隔振系统。STACIS采用的惯性振动传感器、控制算法和压电致动器,通过连续测量地面活动,然后扩展和收缩压电致动器来过滤地面运动,以实时消除振动。

STACIS最初设计用于隔离先进半导体工厂中的精密微光刻、计量和检测设备,现已成为嘈杂环境(包括但不限于半导体工厂、失效分析实验室、纳米技术研究、纳米制造设施和材料研究中心)中敏感仪器的行业标准解决方案。

STACIS III包括一个全新的改进型数字控制器DC-2020。这款全新的控制系统在前后面板上采用了新的双核处理器、以太网以及USB串行端口,为用户提供了现代化且易于使用的图形用户界面(GUI)。STACIS在全球已拥有数百个成功的安装案例,适用于对振动敏感的仪器。 



人气
77
发布时间
2024-03-06 16:44
所属行业
其他行业专用设备
编号
41043677
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