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地球的大气层形成初期是不含氧气的。原始大气是还原性的，充满了甲烷等气体。
大气层氧气的出现源于两种作用，一个是非生物参与的水的光解，一个是生物参与的光合作用。
生物的光合作用对大气层的影响巨 大。它造成了大气层由还原氛围向氧化氛围的转变。使得水光解产生的H2能重新被氧化为水回到地球而不至于扩散到外层空间去，从而防止了地球上的水的流失。同时光合作用也加速了大气层氧气的积累，深刻地改变了地球上物种的代谢方式和体型。大气层含氧量在石炭纪的时候一度上升到了35%。氧气含量的增加造成了依赖于渗透方式输氧的昆虫在体型上的巨型化。在石炭纪曾出现过翼展2英尺半的巨蜻蜓。