在金属加工过程中，超纯氧气还能够促进一些化学反应的发生。例如，在化学气相沉积（CVD）过程中，超纯氧气可以用于原料气的氧化，以强化工艺过程，提高产品的质量。这些化学反应不仅能够提高金属加工的效率，还能够创造出新的材料和产品。
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