点自动对焦表面形状高精度测量机
● 具有Scan AF的高速测定模式。
● 与粗糙度的具有高度相关性。
● 标配的MitakaMap软件,可对应ISO的2D/3D表面粗糙度/形状测量标准。
● 紧凑的尺寸,只需要400mm x 400mm 的空间即可安装。设备重量31kg。
点自动对焦表面形状高精度测量机
移动范围(X,Y,Z)——60 x 60 x 60mm
X-Y 轴分辨率——0.1um
Z 轴分辨率——0.01um
激光点直径——1um
激光——半导体激光(o/p:1mW Max. λ= 635nm)