在使用真空泵的过程中，需要注意保持其密封性能良好，以免泄漏气体，影响真空度。
也是因为真空泵油形成的真空度低的状况，就是真空泵油乳化变色，或许过脏例如在真空室内螺钉孔不能采用盲孔形式，因为安装螺钉后螺孔内部剩余空间的气体只能通过螺纹间隙逸出，形成虚漏，从而延长系统抽气时间，干扰检漏正常进行
D60C 、D40C 、D30C、D16C 、D8C、SV25B、SV25 19903、SV16B、DRYVAC DV500 、TRIVAC C系列、D40C 31159、SV300B、SV1200、COOLVAC 5000、DRYVAC DV300、SV300B、D63L 、D90L、RUVAC WSU2001、DV650、SV630B、D4/8/16/25/40/65B、SV16B25B40B65B 、SV12300B 、D8C、D16C、D30C、D40C、D60C、SV25B、SV40B、SV65B、SV100B、SV300B、SV65B 、SV750B、SV500、SV630、SV630B、SV40B、SV1200、SV25B 、SV16B 、SV100B、SV200、SV300、SV630B、SV750B、SC15、SV100B、DV650、D25B 、D16B 、D8B、D4B、SV630B(F)、B/BCS系列、D8C、D16C、SC 系列、SC 15D、SC 30D、SV 系列、SV 40、SV 630、RUVAC WA/WS 系列、RUVAC WA 1000、WA 2500、DryTel 系列、DryTel 1025、DryTel 6535、SOGEVAC SV 系列、SOGEVAC SV 300、COAX 系列、COAX 9000、COAX 12000、TurboVAC 系列、MAGiNTEGRA 系列、COOLVAC 系列、COOLVAC 8000、IonIVAC 系列
排气阀片也会发出噪音，这主要由于泵的排气阀片破损，需要更换好的排气阀片清洗装配时应轻拿轻放小心碰伤采用高分子复合材料对真空泵实施表面有机涂层防腐，其具有良好的耐化学性能及优异的力学性能和粘接性能，与传统的压力容器焊接修补相比，具有施工简便、成本低、安全性能，修复效果好的特点。
壳体裂纹破裂真空泵因铸造、加工缺陷，内应力及超负荷运行等原因经常导致部件出现裂纹或断裂现象。
泵轴轴承位磨损真空泵传动部位磨损是普遍存在的问题，其中包括轴承位、轴承座、轴承室、键槽及螺纹等部位，传统方法以补焊和刷镀喷涂为主，但两者均存在一定弊端：补焊高温产生的热应力无法完全消除，易造成材质损伤，导致部件出现弯曲或断裂；而电刷镀受涂层厚度限制，容易剥落，且以上两种方法都是用金属修复金属，无法改变“硬对硬”的配合关系，在各力综合作用下，仍会造成磨损。
维修记录：记录维修过程中的所有步骤和更换的零件，以便后续跟踪和参考
在维修真空泵时，要检查泵的外观是否有损坏或磨损的地方，特别是泵的密封圈和密封垫。
如果发现有损坏，应及时更换，并注意密封件的安装位置和固定方式。
需要检查真空泵的进气口和出气口是否通畅。
如果进气口被杂质堵塞，会导致泵无法正常工作，这时可以使用专用的清洗剂清洗进气口，保持其通畅。
而出气口的堵塞可能是由于沉积物堆积所致，可以拆开泵体进行清洗。
一般而言，旋片泵主要由泵体、转子、旋片、端盖、弹簧等组成。
旋片泵的腔内会安装一个转子，转子外圆与泵腔内表面相切，转子槽内装有带弹簧的两个旋片。
当旋转时，主要靠离心力和弹簧的张力使旋片顶端与泵腔的内壁保持接触，转子旋转带动旋片沿泵腔内壁滑动。
经过一系列运动，最终达到连续抽气的目的。
排气阀片被压得太紧也能造成莱宝真空泵卡死例如，有一台400L /m in的滑阀泵，当排气阀被压得过紧跳不开时，便出现了卡死现象此时，只需拆开窗，将压排气阀的螺母略松一点，调招一下即恢复正焦
如果间隙过大，会导致泄漏，影响真空度，此时可以根据实际情况调整转子之间的间隙达到适当的范围。
还有一种常见的故障是真空泵的电机不工作或转速不稳定。
这可能是由于电路故障或电机内部零部件损坏所导致。
在维修时，需要仔细检查电路连接是否松动或短路，如果电路正常，就需要拆开电机进行检修和更换损坏的零部件。