油液泄漏：应立即关闭真空泵，寻找泄漏原因，并采取相应措施。
过热：应停机检查轴承润滑是否充足、轴承是否损坏、机械阻力是否大等，并针对原因采取相应措施，如加注润滑油、更换轴承、排除机械故障等。
噪音大：应停机检查轴承、齿轮是否有损坏，是否啮合不良，是否存在机械故障等，并针对原因采取相应措施，如更换轴承、更换齿轮、排除机械故障等。
真空度不高：应检查真空泵的温太高、油有问题、本身漏气、转簧变形或折断及旋片动作不灵、进气口的过滤网被堵塞、真空泵运转中摩擦发热温升太高等情况，并采取相应措施，如让气体冷却后再进入真空泵内、对划伤部件进行修复或更换、加大冷却水流量、更换密封圈、拧紧气镇阀、更换气阀片、清洗或修理真空泵端盖等。
步，关闭真空泵的电源，确保设备停止运转，避免和其他意外事故的发生。
第二步，仔细观察真空泵的外部情况，检查是否有明显的破损或松动的地方，比如管道连接是否完好，密封件是否损坏等。如果发现问题，应及时进行修复或更换。
第三步，打开真空泵的外壳，检查内部部件的情况。对于电机问题，可以检查电源电压是否正常，电线是否损坏等。对于泵内部件问题，可以检查叶轮、轴承、机械密封等部件的磨损情况。如果发现问题，应及时进行维修或更换。
第四步，检查润滑部件的情况。润滑部件的正常工作对于真空泵的运行至关重要。检查润滑油的油位是否正常，润滑油的质量是否符合要求，可以根据使用手册进行操作。
第五步，恢复设备原始状态，清除维修过程中产生的垃圾和杂物。确保设备的整洁和干净。
持续被抽容器的管道，其直径应不低于泵的进气口直径，且管道应短和弯头少，留意管道的泄漏1真空泵在运行过程中，轴承温度不能超过环境温度35C，温度不得超过80C
开动电机，当真空泵正常运转后，打开出口压力表和进口真空泵，视其显示出适当压力后，逐渐打开闸阀，检查电机负荷的真空泵维修保养情况处理方法：检讨间隙能否过大，改换新的零部件真空泵启动后及时启动轴流风机运行，真空泵停运后30min停运轴流风机，以使主电机得到充分冷却；（2）定期清除电机上灰尘，保持电机散热片清洁，增加其散热能力；（3）将真空泵所在母线电压调整为400V。效果（1）由于轴流风机转速高，风压风量大，冷却效果大大增强，在相同的环境温度、负荷电流下，主电机温度下降了12C。夏季主电机温度未再超限。（2）轴流风机可人为控制，主电机停运后，轴流风机仍可运行，可以使主电机得到充分冷却。（3）尽量使两段母线负荷分配平衡，以防某段母线因负荷过重造成电压下降过多。（4）电压调整后，真空泵运行电流降为210A，发热量相对减小。（5）减缓了主电机的绝缘老化速度，延长了其使用寿命。
D60C 、D40C 、D30C、D16C 、D8C、SV25B、SV25 19903、SV16B、DRYVAC DV500 、TRIVAC C系列、D40C 31159、SV300B、SV1200、COOLVAC 5000、DRYVAC DV300、SV300B、D63L 、D90L、RUVAC WSU2001、DV650、SV630B、D4/8/16/25/40/65B、SV16B25B40B65B 、SV12300B 、D8C、D16C、D30C、D40C、D60C、SV25B、SV40B、SV65B、SV100B、SV300B、SV65B 、SV750B、SV500、SV630、SV630B、SV40B、SV1200、SV25B 、SV16B 、SV100B、SV200、SV300、SV630B、SV750B、SC15、SV100B、DV650、D25B 、D16B 、D8B、D4B、SV630B(F)、B/BCS系列、D8C、D16C、SC 系列、SC 15D、SC 30D、SV 系列、SV 40、SV 630、RUVAC WA/WS 系列、RUVAC WA 1000、WA 2500、DryTel 系列、DryTel 1025、DryTel 6535、SOGEVAC SV 系列、SOGEVAC SV 300、COAX 系列、COAX 9000、COAX 12000、TurboVAC 系列、MAGiNTEGRA 系列、COOLVAC 系列、COOLVAC 8000、IonIVAC 系列
