全国有高压容器分析设计资质的设计院，全国有疲劳容器分析设计资质的设计院由于管道法兰处容易泄漏，输送有毒、有害、腐蚀性介质的管道，不得在人行通道和机泵上方设置法兰，以免法兰渗漏时介质落于人体上而发生工伤事故。如果在管道与法兰连接的设备、阀门、特殊管件连接处必须采用法兰连接时，连接法兰处应采取有效的防护措施。 硅集成电路芯片工厂除应采取防火措施以外，还应结合我国当前的技术、经济条件，配置必要的灭火设施。
8.3.2 洁净区内除应设置室内消火栓系统、自动喷水灭火系统和灭火器系统外，还应根据生产工艺或设备的具体条件和要求，有针对性的设置其他消防设备。
8.3.3 消防水泵应设备用泵，消防泵房应设置备用动力源。
8.3.4 厂房室外消防给水可采用高压、临时高压或低压给水系统，全国有高压容器分析设计资质的设计院，全国有疲劳容器分析设计资质的设计院并应符合现行国家标准《建筑设计防火规范》GB 50016的规定。
8.3.5 生产厂房洁净生产层及上、下技术夹层除不通行的技术夹层外，应根据面积大小、设备台数等设置室内消火栓。
8.3.6 设置于生产厂房内的室内消火栓宜设单独隔断阀门。洁净区的建筑构造材料为非可燃物且该区域内也无其他可燃物的存在时，该区域可不设自动喷水灭火系统。
8.3.9 垂直单向流的洁净区和洁净区域应使用快速响应喷头。
8.3.10 洁净区吊顶下喷头宜采用不锈钢柔性接管与自动喷水灭火系统供水管道相连接。
8.3.11 存放易燃易爆的特种气体气瓶柜间内应设置自动喷水灭火系统喷头。
8.3.12 在硅烷配送区域应设置直接作用于各气瓶的水喷雾系统，全国有高压容器分析设计资质的设计院，全国有疲劳容器分析设计资质的设计院系统的动作信号应来自火灾探测器，且火灾探测器应与气瓶上的自动关断阀联动。
8.3.13 工艺排风管道的消防保护应符合下列要求：
1 设置于厂房内，用于输送可燃气体且大等效内径大于或等于250mm的金属或其他非可燃材质的排风管道，应在风管内设置喷头；
2 风管内自动喷水灭火系统的设计喷水强度不得小于1.9L/min·㎡，全国有高压容器分析设计资质的设计院，全国有疲劳容器分析设计资质的设计院风管内自动喷水灭火系统设计流量应满足远端5个喷头的出水量，单个喷头实际出水量不应小于76L/min，水平风管内喷头距离不得大于6.1m，垂直风管内喷头大间距不得大于3.7m；
8.3.7 生产厂房洁净生产层及洁净区吊顶或技术夹层内，均应设置自动喷水灭火系统，设计参数宜按表8.3.7规定确定。
8.2.10、8.2.11 硅集成电路芯片厂房根据生产需要，通常使用较多的化学药品。这些化学药品性质各不相同，分别表现为可燃、易燃、自燃、有毒、腐蚀或氧化性。针对不同化学特性，这些化学品通常都应分门别类储存，不得和禁忌物品混合储存。作为贮存和配送化学药剂的房间，必须要有可靠的排水措施将泄漏的化学药剂和消防排水有组织收集并临时贮存，避免因为化学药剂和被化学药剂污染的消防排水因无组织四处漫流而导致人员伤害和环境污染。全国有高压容器分析设计资质的设计院，全国有疲劳容器分析设计资质的设计院就地通过地沟等设施贮存泄漏的化学药剂和消防排水是一种常见的简单易行的技术措施。