尺寸检测平面度位置度测量方法如下：

塞尺法：塞尺主要用来测量间隙间距，只能粗略测量平面度。使用时，可将一片或几片重叠插入缝隙，以感觉有点迟缓为宜。测量时动作要轻，不允许硬插，也不允许测量温度较高的零件。

液位法：液位法以液位为测量基准，液位由“连通罐”中的液位组成，再用传感器进行测量。适用于测量连续或不连续的大平面的平面度，但测量时间长，对温度敏感，只适用于测量精度不高的平面。

激光平面干涉仪法：使用激光平面干涉仪可以测量平面度。

以上方法仅供参考，建议根据实际需求选择合适的测量方法和工具。