同型号干式真空泵中的节能，小型・轻量。
极限压力时的耗电量：400W
占地面积：0.11m2
重量：60Kg
■根据客户的需要，提供相应的规格。
ER100D：适用于轻负载洁净工艺的排气
ER100DC：使用了耐腐蚀能力强的材料，可排腐蚀性气体
用途
・洁净排气
・溅射装置的排气
・分子泵等高真空泵的辅助泵
・装载室，搬送式排气
・小型实验设备的排气
・吸附・ 搬送
・分析
・测量仪器的排气 ・型炉排气
・电子枪，离子源的排气
规格
外观尺寸表
性能曲线
| 型式 | ER100D/ER100DC（耐蚀型） | |
| 排气速度 （L/min） | 1670 | |
| 极限压力 （Pa） | 5.0 | |
| 极限压力时所需电力 （W） | 400 | |
| 电源 | 电压 （V） | 200-220 |
| 频率 （Hz） | 50/60 | |
| 相数 | 三相 | |
| 电源容量 （kVA） | 3.2 | |
| N2 吹扫用气体流量 （Pa・m3/s） | 17-20 | |
| 冷却方式 | 水冷 | |
| 冷却水量 （L/min） | 1.5-3.0 | |
| 冷却水温度 （℃） | Max. 30 | |
| 重量 （㎏） | 60 | |
[对应气体种类]
由于排气的气体种类不同，可能导致泵内零件的老化。
关于可抽取的气体种类请咨询我司销售人员