全自动晶圆研磨抛光后双面预刷洗机用于清洗已划片完成的工件，对切割道进行清洗，以便后续UV解胶工作。晶圆清洗机的主要工艺是水清洗、二流体清洗、甩干，其中不同种类工件使用不同的流量、压力等等。本图纸为成熟产品的图纸，已在市面上各大公司使用，大部分为国产元器件，对比国外清洗机不仅具有相当强的优势，且在使用上和工艺上不落下风。

全自动晶圆研磨抛光后双面预刷洗机特点：

1、摄像头类模组类产品表面粉尘，杂质专用清洗机器；

2、镜面锈钢一体化封闭机身，对工作环境无污染，适合无尘车间使用要求；

3、全自动晶圆研磨抛光后双面预刷洗机可更换清洗盘清洗多种产品，清洗盘按产品定做；

4、PLC自动控制，操作方便快捷；

5、透明防爆前门，安全作业，便于观察；

6、全自动晶圆研磨抛光后双面预刷洗机全系统仪表显示，随时监控清洗状况；

7、采用二流体清洗，清洗精度高，对产品零损伤，纯水消耗量极小；

8、旋转式喷杆，避免二次污染产品；

9、全自动晶圆研磨抛光后双面预刷洗机配备静电消除装置、腔壁加热装置，辅助清洗达到**效果；

10、配备2级空气过滤系统，压缩空气符合ISO8573、1标准；

11、机身紧凑，占用面积小；

12、完全使用超纯水清洗，符合RoHS标准。