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新型磁悬浮轴承型涡轮分子泵TG397M
2023-12-13 11:01  浏览:36
新型磁悬浮轴承型涡轮分子泵TG397M新型磁悬浮轴承型涡轮分子泵TG397M / TG427M / TG907M / TG1307M 的特长

 

省电力设计

工作数据,轴承接触次数,机种情报等都可存储于分子泵本体                                                                                                                                                ※进行保养时即使更换控制器,数据也可进行转移

多种通信规格(可对应EtherCAT)

国际规格

符合CE,SEMI-S2,NRTL规格

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