全自动LED衬底片超声波清洗机为半导体衬底片清洗而设计的超声波清洗设备。整个工艺流程使用PLC编程控制，可根据清洗工艺要求，灵活设置动作参数。采用全自动化运行过程，清洗效果好，溶剂保持洁净时间长，实现清洗流程的自动化作业，降低操作人员劳动强度，提高设备的生产能力和清洗效果。

全自动LED衬底片超声波清洗机各部分功能：

清洗槽：工件在清洗槽进行清洗，可将工件表面及缝隙中的油污、粉尘、指纹、汗渍等离子型污垢震落；

漂洗槽：工件放入清洗槽后纯水进行漂洗；

IPA槽：把残留在工件上的水经IPA脱除；

进排液管路装置：用于进水与排放洗剂；

全自动LED衬底片超声波清洗机过滤系统：从储液槽中泵抽取经过滤器过滤后，使清洁的溶液重新流回至清洗槽内；

电器控制面板：控制整机的电气部分，集中控制清洗机的各项功能，保证整机功能的实现。

工艺流程和配置：

上料→洗剂清洗→RO清洗→RO清洗→IPA脱水→下料。

上下料装置：

上料方式：以人工将洗篮放置在上料位，装好工件，上料位有感应器控制定位。

下料方式：单臂机械手将洗篮放在下料位,下料位有感应器提醒人取篮。

全自动LED衬底片超声波清洗机机械臂部分：

1、机械臂结构组成

单臂型机械臂由机架、机械臂传动系统、吊臂、电气控制装置等组成。

2、机械臂基本结构及工作原理

机架：全不锈钢制作的支撑架结构，焊接在设备底盘上，以保证机械强度及机械臂的稳定性。顶部安装有水平横移导轨。

横移传动系统：采用步进电机配合同步轮和同步带传动结构传动。PLC程序控制动作。保证横移动作的相对精度和稳定性。

提升传动机构：采用步进电机配合链轮链条传动，直线导轨制作的支撑结构，PLC程序控动作。保证升降动作的平稳可靠。

不锈钢吊臂：设有不锈钢吊臂，四挂钩定位设计。主吊臂采用螺栓固定在机械臂安装座上。全不锈钢结构设计。

全自动LED衬底片超声波清洗机电气控制装置：采用日本松下可编程序控制器控制机械臂动作。

全自动LED衬底片超声波清洗机运输与安装：

搬运方法：搬运时应平起平落，垂直方向倾斜度不得超过30°，不能碰撞机器。

安装位置：机器应安装在通风干燥的地方，其环境温度、湿度不应过高，机体应平稳位置，距离墙应有适当距离（建议大于1m），以便机器的通风散热及维护方便。

全自动LED衬底片超声波清洗机特点：

自主研发的超声波发生器、超声波换能器，超声强劲均匀，机械Q值高、性能稳定，使用寿命长。

PLC控制系统：进排水、清洗温度、清洗时间、烘干时间、过滤循环时间、超声波功率等所有参数在人机界面设置运行。

过滤循环系统：过滤精度1-50um可选，过滤掉清洗液中的颗粒沉淀物、悬浮物、漂浮物等，提高清洗剂利用率，节省清洗成本。

内槽材质采用304不锈钢，耐酸碱，抗腐蚀能力强。

使用优质不锈钢包裹，采用1.0mm厚电解板喷粉及亚加力板活动门和透明观察窗。

全自动LED衬底片超声波清洗机清洗槽内投入篮、搬出篮及槽间移动篮的全部过程都由机械手自动完成。

清洗篮：骨架采用圆枝结构，四周和底板采用不锈钢孔板焊接，承重能力强。

根据工艺要求，可选配各种频率段的超声波系统。

智能型多臂式机械手，定位精准，运行稳定。

整机采用PLC+触摸屏控制，可根据生产需要监控及调整工艺参数。

上下双边抛动系统，清洗面均匀，效果更佳。

气动式进出料输送系统，有效杜绝二次污染。

FFU高效过滤系统，确保工作内环境的洁净度。

全自动LED衬底片超声波清洗机独特的溢流装置及热交换器，节能减排。

自动化程度高，适宜于连续大批量生产，清洗品质稳定。

清洗采用刷洗配合高压进行清洗，可以有效的清洗各种污渍、指纹和汗渍等杂质。

输送采用滚轮输送，机内配有导向机构，可以有效的防止玻璃跑偏。

台湾式风刀，切水干净彻底。保证不留有水分。

全自动LED衬底片超声波清洗机水循环系统采用逐级溢流方式，可以有效节约用水。

设计符合国际、国内通行安全防护标准。设备具有完善的防护装置。

各种防护门、窗均有连锁保护开关。运动部件和油、气、液、电线、电缆等单元进行单独防护。设备稳定运行时噪声≤85dB（按****检测）。

配置的压力容器和蓄能装置均附有检定证书和技术说明。

均设有急停开关，安装在便于紧急操作的位置，颜色为红色。

配备安全操作指导书，危险部位均进行文字和危险图形标识。