当汇川伺服驱动器发生故障时，伺服驱动器的数字操作器上会发现Er.xxx的故障代码。下面介绍的故障在伺服驱动器维修中比较常见的故障。
    伺服驱动器发出Er.101故障警报，表示汇川伺服驱动器内部参数出现异常。引起此种伺服驱动器维修故障的主要原因有以下几方面：①控制电源电压瞬时下降；②参数写入过程中电源被切断了；③一定时间内参数的写入次数超过了大值；④因为接地及静电等噪音产生了误动作；⑤气体、水汽或者切削润滑油进入伺服驱动器内部导致内部元器件发生故障；⑥伺服驱动器自身的故障。
    伺服驱动器发出Er.200故障警报，表示汇川伺服驱动器过电流故障。引起伺服驱动器维修过电流故障的主要原因有以下几种：

①伺服驱动器主电路电缆或电机主电路电缆接线错误或者接触不良；

②驱动器或电机主电路电缆内部短路或者接地短路；

③伺服驱动器内部短路或者接地短路；

④伺服电机内部短路或在接地短路；

⑤伺服电机编码器接线老化腐蚀了；

⑥外接的再生泄放电阻过小或者短路了。
    伺服驱动器发出Er.400故障报警，表示伺服驱动器发生过电压故障。伺服驱动器维修过电压故障的原因主要有以下几种：

①伺服驱动器维修检测直流母线的电压超过了420V或760V以上，供电电源电压高于伺服驱动器规定的电压输入范围；

②供电电源不稳定或受外部环境影响（例如受到雷击影响）；

③在高电压情况下，进行大幅度的工作；

④伺服驱动器的母线电压采样值存在误差；

⑤伺服驱动器内部元器件的故障。
    伺服驱动器发出Er.610/620故障报警，表示伺服系统发生伺服驱动器过载后伺服电机过载。伺服驱动器维修过载故障的主要原因有以下几种：

①伺服电机连接线或编码器连接线接触不良；

②伺服电机或伺服驱动器运行超过过载保护的设定；

③因为机械因素（例如机械卡死、润滑不好等）导致电机无法正常运转而导致伺服器运行时负载过大。