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PVD镀膜--纯离子镀膜设备 制备DLC/TAC膜层 纯离子低温镀膜工艺 零污染高性能镀膜设备
2025-02-21 14:19  浏览:1
PVD镀膜--纯离子镀膜设备 制备DLC/TAC膜层  纯离子低温镀膜工艺 零污染高性能镀膜设备

 PIS系列纯离子镀膜设备是集纯离子镀膜技术(PIC)、高能离子束清洗技术(IONBEAM)和磁控溅射技术(SPUTTER)三种技术融合于一体,其独有的纯离子镀膜源技术,利用高效的电磁过滤系统和电磁扫描系统有效过滤掉中性粒子、大颗粒离子团等杂质,大幅度提高等离子束流纯度,使膜层更加致密,硬度更高,耐磨性和耐腐蚀性也更优异。可以镀制厚度范围从几百纳米到二十多微米的超级类金刚石Ta-C膜层。

PIS系列设备采用高效的电磁过滤器,可以有效过滤颗粒及杂质,创新设计的弧源,应用了新的技术突破确保弧源长期稳定工作;

采用纯离子低温镀膜工艺,镀膜过程控制在150°C以下,可避免热应力和基材变形;制备的Ta-C膜层中金刚石相(SP3键)可以达到75%以上的,其物理化学性质和金刚石极其类似,薄膜具有极高的硬度>5000HV(>50GPa),极低的摩擦系数(<0.1),光学透明度等一系列优异特征,可大幅度提高涂层产品使用寿命;

制备的Ta-C膜层拥有良好的抗砂石、抗结冰、抗粘连、抗腐蚀能力,有利于零部件在恶劣环境下长期服役;全自动智能化工艺操作系统,提供全面、便捷的工艺配方编辑及调用能力,配备实时工艺参数监控系统,允许工程师在线控制。

全自动智能化工艺操作系统,提供全面、便捷的工艺配方编辑及调用能力,配备实时工艺参数监控系统,允许工程师在线控制。

应用领域:

工模具:切削刀具、注塑模具等;交通工具:发动机关键零部件;纺织配件、医疗器械等

注明:以上数据来源于安徽纯源镀膜科技有限公司-材料实验室检测数据


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