颠覆性的技术革新，致轻、致小，完美实现了嵌入组装在半导体制造等装置中

2.83L/min，测试0.1、0.3μm微小粒子

4.3英寸彩色触摸显示屏

可使用附带软件在PC上显示测试数据

设有RS-485、Ethernet、USB通讯接口