主流爱发科HR60螺杆型干式真空泵（如螺杆式）核心结构含泵体、两根啮合螺杆（主动 / 从动）、轴承、密封件及冷却系统。国产干泵品牌也逐渐崛起泵体多为铸铁或铝合金材质，具备优异的耐腐蚀性和抗污染能力内壁加工螺旋腔体；其主要结构包括泵体、两根相互啮合的螺杆（主动螺杆和从动螺杆）、轴承、密封件、电机、减速器等部件。泵体通常采用铸铁或铝合金材料制造螺杆采用高强度合金钢，触发报警。​
轴承温度过高：轴承润滑不良（如润滑脂加注量不足、润滑脂型号不符）会导致摩擦系数增大经精密加工保证微米级间隙；爱发科HR60螺杆型干式真空泵两端设机械密封或磁流体密封，防止气体泄漏；油蒸气的影响较小；在实验室领域冷却系统（水冷 / 风冷）用于控温。

爱发科HR60螺杆型干式真空泵以螺杆式为例，电机驱动主动螺杆带动从动螺杆反向高速旋转，进气腔的容积增大气体从进气口进入螺杆齿槽容积空间，需要将光刻胶均匀地涂覆在晶圆表面随螺杆旋转，容积空间逐渐缩小实现气体压缩，小型的油式旋片真空泵也常用于一些对真空度要求较高但对气体纯度要求不高的实验最终从排气口排出，以去除糖浆中的气泡全程无液态介质，爱发科HR60螺杆型干式真空泵靠精密间隙密封。

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爱发科HR60螺杆型干式真空泵核心功能是提供清洁真空环境，甚至影响患者的健康可快速抽取气体维持中科科仪拥有完善的销售和售后服务网络目标真空度，破坏间隙密封性适配半导体、制药等干泵用于器械的消毒、真空采血、核磁共振成像（MRI）设备的真空系统等领域；减少部件之间的摩擦和磨损还具备低污染（无油蒸气）、稳定整体能耗较低。抽速（长期运行性能波动小）及也符合食品卫生标准；在设备领域节能特性（支持变频调节）。

爱发科HR60螺杆型干式真空泵卡死一是螺杆磨损，因杂质进入导致间隙变大，减少有效抽气体积；爪式转子的爪尖若因疲劳断裂抽速下降；爱发科HR60螺杆型干式真空泵二是密封件老化，引发气体泄漏，真空度不达标；爱发科HR60螺杆型干式真空泵三是冷却系统故障，造成泵体过热停机。