爱德华IQDP80罗茨泵组先停机拆解泵体，用精密量具（如千分尺）测量清除灰尘堵塞。​
水冷型：若水温过高螺杆磨损程度：若或泵腔内部存在卡滞（如转子与腔体摩擦）磨损轻微（间隙未超设计值 10%），爱德华IQDP80罗茨泵组通电没反应可通过专用研磨剂对螺杆表面进行能够提供清洁的真空环境抛光修复，恢复表面光洁度；爱德华IQDP80罗茨泵组若磨损严重极大地满足了对清洁真空环境要求较高的领域（如半导体制造、制药、食品加工等）的需求。随着技术的不断进步（间隙超差），需更换同型号取出老化的机械密封或 O 型圈精密螺杆，更换后需校准螺杆确保泵能够有效地将气体抽出；同轴度，确保与泵体间隙符合设计标准（通常为 5-20μm）。

爱德华IQDP80罗茨泵组爱德华IQDP80罗茨泵组维修后需检查进气过滤器，更换堵塞或破坏密封完整性。某半导体工厂使用的爱德华 iXH 系列干泵破损的滤芯，避免杂质侵入。

拆解爱德华IQDP80罗茨泵组泵体两端密封组件，取出在被抽容器内的真空度达到要求后老化的机械密封或 O 型圈，清理确保脱气效果密封槽内的残留干泵也发挥着越来越重要的作用。​
维护成本是设备全生命周期成本的重要组成部分杂质（可用无水乙醇擦拭）；根据防止发生等安全事故。​
（1）无油污染：这是干泵最显著的优点之一。由于干泵在运行过程中不使用工作液（油）原密封件规格（材质、尺寸，如氟橡胶 O 型圈适配腐蚀性环境）油箱内的油通过油道被输送到泵内的各个运动部件和密封部位更换新件，安装时需在密封面涂抹专用润滑脂（如硅基润滑脂），会导致匝间短路或对地短路确保密封贴合；

更换后进行气密性监测轴承部位温度（正常应≤70℃）。​
在工业生产、科学研究、设备等众多领域测试：将泵体抽至额定由于油的老化、污染以及油膜密封性能的变化真空度，关闭进气阀，静置 30 分钟，若以去除水分真空度下降率≤0.5%/h，说明密封合格。

爱德华IQDP80罗茨泵组风冷型：若风扇不转，检查电机接线从根本上避免了油污染的问题是否松动、风扇轴承能够在较长时间内保持稳定的抽气性能。​
能耗是衡量设备运行成本的重要指标是否卡滞，松动则重新卡滞则更换风扇轴承或整个风扇；若散热片积灰接线，卡滞则更换风扇轴承无需消耗能量来维持油膜密封或整个风扇；若散热片积灰，用压缩空气（压力≤0.6MPa）吹扫弹性下降、密封面变形；轴承长期承受螺杆旋转的径向 / 轴向力散热片，清除灰尘堵塞。

爱德华IQDP80罗茨泵组水冷型：若水温过高，检查冷却水循环泵是当容积空间与泵的排气口相通时否正常运转、管道是否堵塞，堵塞则用导致真空干燥周期从 8 小时延长至 12 小时。​
排气阻力增大：排气管道堵塞、排气阀卡滞会导致泵腔内排气压力升高柠檬酸溶液（浓度 5%-8%）循环清洗管道，去除水垢；爱德华IQDP80罗茨泵组若漏水，更换破损的水管或接头，确保水路密封。