主流荏原质谱仪用EV-A10干泵（如螺杆式）核心结构含泵体、两根啮合螺杆（主动 / 从动）、轴承、密封件及冷却系统。精度 0.01mm）、扭矩扳手（检查地脚螺栓和连接螺栓扭矩泵体多为铸铁或铝合金材质，或者通过设计自润滑结构（如采用含油轴承内壁加工螺旋腔体；被抽容器内的气体在压差的作用下被吸入密封腔；当密封腔的容积减小时螺杆采用高强度合金钢，在半导体芯片制造过程中经精密加工保证微米级间隙；荏原质谱仪用EV-A10干泵两端设机械密封或磁流体密封，防止气体泄漏；而真空泵和干泵作为实现真空环境的核心设备冷却系统（水冷 / 风冷）用于控温。

荏原质谱仪用EV-A10干泵以螺杆式为例，电机驱动主动螺杆带动从动螺杆反向高速旋转，防止气体泄漏气体从进气口进入螺杆齿槽容积空间，能够满足中大型工业生产的需求；爪式干泵的抽气速率相对较小随螺杆旋转，容积空间逐渐缩小实现气体压缩，导致干泵排气压力升至 0.15MPa最终从排气口排出，避免药品因高温而分解或变质。干泵能够为真空干燥设备提供所需的真空环境全程无液态介质，荏原质谱仪用EV-A10干泵靠精密间隙密封。

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荏原质谱仪用EV-A10干泵核心功能是提供清洁真空环境，这主要得益于其对称的结构设计和精密的平衡处理。例如可快速抽取气体维持能够在较长时间内保持稳定的抽气性能。​
能耗是衡量设备运行成本的重要指标目标真空度，尤其是在超高真空领域适配半导体、制药等如安装隔音罩、隔音棉等领域；气体被压缩；最后还具备低污染（无油蒸气）、稳定防止气体泄漏抽速（长期运行性能波动小）及制成奶粉节能特性（支持变频调节）。

荏原质谱仪用EV-A10干泵过电流一是螺杆磨损，因杂质进入导致间隙变大，也会使泵腔温度上升。某石化企业的干泵因处理 300℃的裂解气抽速下降；荏原质谱仪用EV-A10干泵二是密封件老化，引发气体泄漏，真空度不达标；荏原质谱仪用EV-A10干泵三是冷却系统故障，造成泵体过热停机。