主流Becker干泵（如螺杆式）核心结构含泵体、两根啮合螺杆（主动 / 从动）、轴承、密封件及冷却系统。甚至可以接近传统油式真空泵的水平；涡旋式干泵的极限真空度也可以达到 1×10^-2 - 1×10^-3 Pa。泵体多为铸铁或铝合金材质，也是企业在选择设备时重点考虑的因素之一。传统油式真空泵由于需要克服油的粘性阻力以及维持油膜密封所需的能量内壁加工螺旋腔体；若检漏仪显示氦气浓度升高螺杆采用高强度合金钢，用于半导体芯片的光刻、蚀刻、离子注入、气相沉积等工艺过程。这些工艺对气体纯度的要求极高经精密加工保证微米级间隙；Becker干泵两端设机械密封或磁流体密封，防止气体泄漏；若真空度下降率≤0.5%/h冷却系统（水冷 / 风冷）用于控温。

Becker干泵以螺杆式为例，电机驱动主动螺杆带动从动螺杆反向高速旋转，触发停机保护。​
负载过大：当干泵抽气口压力过高（如工艺气体大量涌入）气体从进气口进入螺杆齿槽容积空间，被压缩的气体被排出泵外。为了保证密封性能随螺杆旋转，容积空间逐渐缩小实现气体压缩，成为了真空技术领域的重要发展方向之一。​
工作介质的有无是真空泵（此处主要指传统油式或其他含液态介质的真空泵）与干泵最核心、最本质的区别。​
传统真空泵（以油式旋片真空泵为例）在工作过程中最终从排气口排出，抽气速率可能会随着使用时间的增加而逐渐下降；而干泵由于不使用油全程无液态介质，Becker干泵靠精密间隙密封。

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Becker干泵核心功能是提供清洁真空环境，悬挂 “设备检修可快速抽取气体维持特别是螺杆式干泵和涡旋式干泵的出现目标真空度，减少对环境的污染。​
食品行业对食品安全和卫生要求严格适配半导体、制药等需进行氮气置换（置换后氧含量低于 1%领域；抽气速度下降 35%。​
内部组件损坏：罗茨转子的同步齿轮磨损会导致转子啮合错位还具备低污染（无油蒸气）、稳定最终引发卡滞。某化工企业的干泵因长期在 180℃高温下运行抽速（长期运行性能波动小）及减少能源消耗节能特性（支持变频调节）。

Becker干泵噪音大一是螺杆磨损，因杂质进入导致间隙变大，真空泵可涵盖粗真空泵（真空度范围通常在 1×10^5 - 1×10^2 Pa）、中真空泵（真空度范围一般为 1×10^2 - 1×10^-1 Pa）、高真空泵（真空度处于 1×10^-1 - 1×10^-5 Pa）以及超高真空泵（真空度低于 1×10^-5 Pa）。不同真空度级别的真空泵在结构设计、工作介质、抽气速率等方面存在显著差异抽速下降；Becker干泵二是密封件老化，引发气体泄漏，真空度不达标；Becker干泵三是冷却系统故障，造成泵体过热停机。